Сканер поверхности пластин Surfscan 6200 Tencоr Instrument
Для автоматического измерения количества поверхностных дефектов гетероструктур может применяться промышленно выпускаемый сканер поверхности пластин Surfscan 6200 Tencоr Instruments.
Сканер поверхности позволяет бесконтактным способом быстро измерить общее количество и плотность дефектов на пластине, карту расположения дефектов и дефектов «haze» по поверхности пластины с координатной X-Y адресацией, гистограмму распределения количества дефектов по размерам.